Solution シリコンウエハー（半導体基板）検査ソリューション

対象分野	液晶・半導体・有機EL等の基板検査
このソリューションが解決する課題	外観検査の精度を向上させたい検査のスピードを高めたい人の目、既存設備で検出できない瑕疵・不良の検出検査で見つかった欠陥を分類したい

オートフォーカスユニットにより、検査精度とスピードを両立

ラインカメラとオートフォーカスユニットの組み合わせにより、高精度・高速な基板検査を実現するソリューションです。
まず、ラインカメラで基板全体を撮影し、2μの分解能で大まかに欠陥を検出。この欠陥座標をもとに、オートフォーカスユニットで0.2μの高精度による詳細な検査を実行することで、検査精度を高めつつ効率アップが図れます。
さらに欠陥情報をディープラーニングによって自動的に分類することにより、省人化を後押しします。